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www.opticsky.cn EUV光刻光源收集镜制造与量测取得重要进展 网站详细信息
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标题: EUV光刻光源收集镜制造与量测取得重要进展
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日期: 2025-04-12
标签: 科技动态
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描述: 本文对收集镜光栅变形结构提出一种快速无损的测量方法，以应对其极端制造要求。
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